کاربید سیلیکون (SIC) ، به عنوان یک ماده سرامیکی پیشرفته با کارایی بالا ، به دلیل خاصیت فیزیکی و شیمیایی بسیار عالی در بسیاری از زمینه های صنعتی مورد استفاده قرار می گیرد (مانند سختی بالا ، مقاومت در برابر دمای بالا ، هدایت حرارتی بالا ، و ضریب ابعاد حرارتی پایین: 1}}} موارد زیر برنامه های کاربردی پنج هسته ای از Carbite Silic Plans هستند
تولید نیمه هادی و صنعت الکترونیک
صفحات کاربید سیلیکون عمدتاً در قسمت نیمه هادی برای اجزای کلیدی تجهیزات تولید ویفر ، مانند بخاری و چاک الکترواستاتیک (ESC) اچر . استفاده می شود.
مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی پلاسما: SIC می تواند در فرآیندهای نیمه هادی دمای تا 1600 درجه و گازهای بسیار خورنده (مانند پلاسما فلوئور) را تحمل کند ، و طول عمر آن به مراتب از کوارتز سنتی یا آلومینیوم. است
خلوص بالا و آلودگی کم: عدم تحرک شیمیایی تضمین می کند که در طی فرآیند تولید ویفر ، آلودگی فلزی وجود ندارد ، که برای ساخت نیمه هادی های نسل سوم (مانند تراشه های GAN و SIC) مناسب است.
مزایای مدیریت حرارتی: هدایت حرارتی بالا (120-270 w/m · k) می تواند گرما را به طور مساوی از بین ببرد و عملکرد تراشه را بهبود بخشد .
کوره های صنعتی با درجه حرارت بالا و عملیات حرارتی
صفحات کاربید سیلیکون مواد ایده آل برای کوره ها ، ریل ها و صفحات ضد شعله هستند و معمولاً در پخت و پز سرامیکی ، عملیات حرارتی فولادی و تولید سلول خورشیدی. استفاده می شود
پایداری طولانی مدت: تغییر شکل در اکسیداسیون یا کاهش جو در درجه1400-1600 آسان نیست ، و عمر خدمات می تواند به بیش از 5 برابر مواد نسوز سنتی. برسد
اثر صرفه جویی در مصرف انرژی: هدایت حرارتی بالا باعث تسریع در انتقال حرارت و کاهش مصرف انرژی می شود. ضریب انبساط حرارتی کم (4.} 0 × 10 درجه در درجه) از ترک خوردگی حرارتی جلوگیری می کند.
سناریوهای کاربردی: به عنوان مثال ، کوره های شمش سیلیکون پلی کریستالی در صنعت فتوولتائیک به صفحات SIC نیاز دارند تا در برابر خوردگی سیلیکون مذاب و حفظ دقت بعدی .}}
تجهیزات شیمیایی و ضد خوردگی
در صنعت شیمیایی ،صفحات کاربید سیلیکونبرای مقابله با اسیدهای قوی (اسید سولفوریک ، اسید هیدروفلوئوریک) ، قلیایی قوی ، و محیط های با درجه حرارت بالا و فشار زیاد.} برای مقابله با اسیدهای قوی (اسید سولفوریک ، اسید هیدروفلوئوریک) استفاده می شود.
عدم تحرک شیمیایی: SIC در محدوده pH 0-14 تقریباً بی ارتباط است ، که بهتر از فولاد ضد زنگ و Hastelloy.}
قدرت مکانیکی: مقاومت خمش به MPA 400-600 می رسد ، که می تواند در برابر تأثیر مکانیکی راکتور {{1} مقاومت کند
هوافضا و قطعات ساختاری درجه حرارت بالا
صفحات کاربید سیلیکون در نازل های موشک ، سپرهای گرما و تیغه های توربین گازی در هوافضا استفاده می شود.
عملکرد درجه حرارت فوق العاده بالا: هنوز هم در درجه 2000 درجه قدرت دارد و نقطه ذوب به اندازه 2700 درجه است که برای لبه پیشرو هواپیماهای مافوق صوت مناسب است.
سبک وزن: چگالی (3. 1 گرم در سانتی متر) پایین تر از آلیاژ تنگستن است که بار را کاهش می دهد.
فناوری جدید انرژی و حفاظت از محیط زیست
در زمینه انرژی جدید ، صفحات کاربید سیلیکون در فتوولتائیک ، انرژی هسته ای و تصفیه گاز زباله استفاده می شود:
صنعت فتوولتائیک: به عنوان یک پوشش قابل حمل برای کوره های رشد پلی سیلیکون برای کاهش چسبندگی مواد سیلیکون ، از فیلترهای سرامیکی SIC برای حذف گرد و غبار گاز دودکش با دمای بالا (مانند گیاهان سوزاندن زباله) استفاده می شود.
راکتورهای هسته ای: صفحات جذب نوترون SIC می توانند میزان شکافت هسته ای را کنترل کنند ، و مقاومت تابش آنها بهتر از گرافیت {{0} است
انرژی هیدروژن: در غشای تبادل پروتون (PEM) برای تولید هیدروژن توسط الکترولیز آب ، صفحات سیکن مقاوم در برابر اسید هستند و دارای هدایت عالی هستند.
با پیشرفت فن آوری آماده سازی SIC (مانند پخت و پز واکنشی و CVD) ، هزینه آن به تدریج کاهش می یابد ، و مناطق کاربردی آن بیشتر به قسمتهای برش مانند محاسبات کوانتومی و زیست پزشکی افزایش می یابد . صفحات کاربید سیلیکونی ادامه می یابد تا نوآوری را در تولید بالا با "تولید" انجام دهد.